廣東瑞樂半導體科技有限公司
Guangdong Ruile Semi technology Co.,Ltd
廣東瑞樂半導體科技有限公司(以下簡稱“瑞樂半導體”)成立于2016年,是專業的晶圓測溫系統和晶圓校準成套系統的高科技企業,主要產品有TC Wafer晶圓測溫系統、RTD Wafer晶圓測溫系統(有線/無線)、On Wafer無線晶圓測溫系統,AMS無線校準測量晶圓系統、ATS無線校準測量晶圓系統等,為半導體企業提供高精度的晶圓測溫解決方案和晶圓校準測量解決方案。主要測溫應用場景包括:半導體制程中的爐管、勻膠顯影機、PVD Chamber 、? CVD Chamber、RTP/RTA Chamber 、去膠Strippers、靜電卡盤(ESC)、加熱板 Hot Plates、致冷盤 Cold Plates、后段探針臺、等離子蝕刻、離子注入、清洗、化學機械拋光、蒸鍍等場景,以及半導體制程中涂膠顯影、退火、刻蝕、薄膜沉積,制程腔體溫度、濕度、位置、尺寸校準,晶圓傳輸狀態測量等。
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